晶圆清洗机
发布时间:2023-05-13 13:58:45 人气:228
晶圆清洗机


设备参数

机台尺寸

3600(L)*1800(W)*2150(H)(mm)

气压

5kg/cm平方,流量200LPM以上

电压

50/60HZ,3P220V15KW

控制系统

MitsubishiPLC

水气

DIWater3kgf/cm2以上/1”

排气

6”排气



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