设备参数 | |
DJ-300回转式清洗机 | |
机台尺寸 | 2000x1800x2250(mm)参考尺寸 |
机台重量 | 1000kg |
气压 | 6kg/cm平方,流量200LPM以上 |
电压 | 50/60HZ,3P220V15KW |
主轴转数 | 5~250RPM |
烘烤温度 | 室温~80度C(IR红外线加热中间X1,外侧X2,共三只中波长高效灯管) |
控制系统 | MitsubishiPLC |
水气 | DIWater3kgf/cm2以上/1” |
排气 | 6”排气 |
适用产品 | 12”Foup8”CSTBOX |
产品特性 | 可对应各种形式的Foup&FOSB |
(SEMIstandard适用Foup) | |
该设备主要用于半导体制程的Foup、Fosb、Casset | |
设备参数 | |
12”Foup专用清洗篮 | |
清洗架数量 | 12”Foup清洗架*4(容量8pcs) |
清洗架尺寸 | 465x295x1225mm(单边) |
清洗架材质 | SUS+POM |
订制服务 | 8”12”CST，MASK客供产品订制 |
