涂布部件--涂布刀头
发布时间：2023-02-27 03:14:18 人气：266
设备规格参数 |
SPIN COATER |
膜厚均匀性 | ≦±3% |
基板尺寸 | G2以下 |
Tact time | <60s |
设备规格参数 |
简易SLIT COATER |
膜厚均匀性 | ≦±10% |
基板尺寸 | G3.5以下 |
Tact time | <25s |
设备规格参数 |
SLIT COATER |
膜厚均匀性 | ≦±3% |
基板尺寸 | G6以下 |
Tact time | <40s |
设备规格参数 |
SLIT COATER |
膜厚均匀性 | 50~500um |
基板尺寸 | 32寸以下 |
Tact time | <35s |
